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Als Siliciumtetrahalogenide (auch Tetrahalogensilane) bezeichnet man Verbindungen des Typs SiX₄, wobei X für eines der Halogene Fluor, Chlor, Brom oder Iod steht. Es sind Derivate des Monosilans, wobei alle Wasserstoff-Atome durch Halogene ersetzt sind.

Neben den vier reinen Siliciumtetrahalogeniden

• Siliciumtetrafluorid SiF₄,
• Siliciumtetrachlorid SiCl₄,
• Siliciumtetrabromid SiBr₄,
• Siliciumtetraiodid SiI₄

sind auch gemischte Tetrahalogensilane bekannt, wie z. B.

• Dichlordifluorsilan SiCl₂F₂ oder
• Trichlorfluorsilan SiCl₃F.

Im Gegensatz zu ihren Kohlenstoffanaloga, den Halogenkohlenwasserstoffen vom Typ CX₄, wie beispielsweise Tetrachlormethan, sind Tetrahalogensilane hochreaktive Verbindungen.

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