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Novolack
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Novolack ist ein Phenolharz mit einem Formaldehyd-Phenol Verhältnis kleiner als 1:1. In der Regel ist Novolack thermoplastisch, es können jedoch Zusätze beigemengt werden (z. B. Formaldehyd oder Hexamethylentetramin), die zusätzliche Bindungen ermöglichen. Dieses ergibt dann ein unschmelzbares Produkt (Duroplast).
Novolack wird in der Mikroelektronik und Mikromechanik benutzt. Es handelt sich hierbei um einen positiven Photoresist. Durch Absorption von Energie aus Lichtquanten werden die Makromoleküle des Novolackes in kleinere Molekülketten „zerhackt“, wodurch sie von einem Entwickler gelöst werden können. Die nicht belichteten Stellen des Lackes bleiben erhalten und schützen das Substrat vor dem nächsten Prozessschritt (z. B. Ionenimplantation, galvanisches Aufwachsen von Metall, thermische Oxidation, etc).
Novolack wird in der Regel durch einen Spin Coater auf ein Substrat aufgeschleudert und es können Resistdicken bis hin zu einigen µm erreicht werden. Für größere Schichtdicken ist Novolack ungeeignet. Dort empfiehlt sich PMMA.
