Das Kefk Network Wiki befindet sich im Testbetrieb.

---

Aus Kefk.

MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) ist die Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat bzw Chip. siehe auch (SoC System on Chip)

MEMS basierten früher auf der Halbleiter-Elektronik, damals war Grundmaterial (Substrat) in der Regel Silizium, aber auch Galliumarsenid. Die Mikroelektronik beschränkt sich auf elektrische Komponenten wie Transistoren (CPU) und Kondensatoren (RAM). Heute können MEMS auch preiswert aus Kunststoffen hergestellt werden und die Ergebnisse im Bereich Materialforschung werden für multifunktionale Systeme genutzt. In der Mikrosystemtechnik sind die Möglichkeiten der Halbleiter-Werkstoffe erweitert um mechanische, optische, chemische und/oder biologische Komponenten und Funktionen.

Wichtige Beispiele von halbleiterbasierten MEMS, die in Großserie gefertigt werden, sind Beschleunigungssensoren, die zum Beispiel für die Auslösung von Airbags verwendet werden, und Digital Light Processing-Bausteine, die in Videoprojektoren verwendet werden. Beispiele für polymere MEMS sind Kunststoff-Lab-on-Chip-Systeme mit integrierten Ventilfunktionen. Ein weiteres bekanntes Beispiel eines MEMS ist auch der noch nicht kommerziell erhältliche Millipede-Speicher (Stand Dezember 2005).

Anwendungsgebiete

Der Einsatz von MEMS ist überall dort denkbar und sinnvoll, wo Sensoren / Aktoren und Elektronik zusammenarbeiten. Medizinprodukte sowie Produkte aus den Bereichen Sicherheitstechnik, Sport, Live Sciences und Logistik können mit Hilfe von MEMS vielseitiger, einfacher, intelligenter, kleiner und leistungsfähiger werden.

Vorstellbar sind Handys, die auf Bewegung reagieren, Computer die bei starken Erschütterungen oder einem Sturz automatisch herunterfahren, Kameras und Camcorder, die selbstständig verwackelte Bilder ausgleichen.

Siehe auch

Mikrosystemtechnik

Weblinks

Berkley MEMS Micro Motoren PDF-File englisch

Dieses Dokument entstammt in seiner ersten oder einer späteren Version der deutschsprachigen Wikipedia. Es ist dort zu finden unter dem Stichwort MEMS, die Liste der bisherigen Autoren befindet sich in der Versionsliste; die Originalfassung kann dort auch bearbeitet werden. Alle Texte der Wikipedia und ihre Derivate stehen unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation.