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Ein Ionisations-Vakuummeter ist ein Druckmessgerät zur Druckbestimmung im Hochvakuumbereich, also 10 ^{− 2} bis 10 ^{− 12} mbar. Das Prinzip basiert auf einer indirekten Druckmessung mittels elektrischer Größen, die zu den Restgaspartikeln mit der Teilchenzahldichte proportional sind. Dazu muss das Restgas ionisiert werden, wofür es unterschiedliche Umsetzungsmöglichkeiten gibt:

• Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter
• Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter

Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter

Zwischen Anode und Kathode liegt eine Gleichspannung von etwa 2 kV an. Vorhandene Ionen werden in diesem Feld beschleunigt und ionisieren Restgasteilchen durch Stoßionisation. Es bildet sich ein druckabhängiger Entladungsstrom, der gemessen wird. Oberhalb von 10 ^{− 2} mbar geht der Ionenstrom in eine Glimmentladung über, die vom Druck unabhängig ist (obere Messbereichsgrenze).

Aufschlagende Ionen bleiben entweder auf der Kathode haften und werden dort neutralisiert, oder sie schlagen Material heraus (Kathodenzerstäubung). Das Material schlägt sich an den Wänden der Messräume nieder. Durch diesen Prozess wird die Kathode langsam verbraucht und ist daher meist austauschbar konstruiert.

Auf der Restgasionisation mittels Kaltkathoden basieren:

• Penning-Vakuummeter
• Magnetron-Systeme

Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter

Dieses System basiert auf der Emission von Elektronen aus dem beheizten Kathodenmaterial. Zwischen der Glühkathode und der Anode liegt eine Spannung (U) an, die die emittierten Elektronen (e) beschleunigt. Diese Elektronen können unter der Bedingung (wobei E_A = Austrittsarbeit) die Restgasteilchen ionisieren. Die positiv geladenen Gasionen werden von einer weiteren Kathode, deren Potential negativer ist als jenes der Glühkathode, angezogen. Die Neutralisation der Ionen führt zu einem messbaren (Elektronen-)Strom, welcher auf dem Ionenstrom basiert und daher von der Teilchenzahldichte im Restgas abhängt.

Auf der Restgasionisation mittels Glühkathoden basieren:

• Bayard-Alpert-Vakuummeter
• Extraktor-Ionisationsvakkummeter
• Orbitron-System mit besonders langen Elektronenwegen
• Magnetron-Vakuummeter etc.

Literatur

• Wutz, Adam, Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, Vieweg-Verlag.

Druckmessgerät Vakuummeter

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