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Strukturformel
Bild:Strukturformel Hexamethyldisilazan.png
Allgemeines
Name	1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Andere Namen	Hexamethyldisilazan, HMDS
Summenformel	C6H19NSi2
CAS-Nummer	999-97-3
Kurzbeschreibung	farblose bis gelb gefärbte Flüssigkeit
Eigenschaften
Molmasse	161,39 g/mol
Aggregatzustand	flüssig
Dichte	0,7742 g/cm³
Schmelzpunkt	-82 °C
Siedepunkt	126 °C
Dampfdruck	2700 Pa (20 °C)
Flammpunkt	14 °C (manchmal auch 23 °C angegeben)
Löslichkeit	?
Sicherheitshinweise
Gefahrensymbole Bild:Hazard F.svg F Leichtent- zündlich Bild:Hazard C.svg C Ätzend
R- und S-Sätze	R: ? S: ?
MAK	?
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Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C₆H₁₉NSi₂, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen.

Hexamethyldisilazan ist eine farblos bis gelb gefärbte Flüssigkeit mit aminartigem Geruch, die leicht entzündlich ist.